3000Plus型全自動GC/R為本公司21世紀初期**研發之新型氣瓶柜/架，以OMRON PLC為控制主體，PROFACE觸摸屏為操作界面，針對不同性質氣體搭配不同的盤面設計，可以滿足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各產業界之不同需求。3000全系列產品均已通過半導體行業的SEMI-S2安全認證以及電子產品之CE認證。 基本功能：1、可設定的5級密碼權限2、自動吹掃，自動切換3、手動吹掃及操作閥門4、操作及報警歷史紀錄5、供氣和報警參數設置6、設備運行狀態輸出7、緊急切斷開關EMO8、高溫自動噴淋系統可選功能：1、UV/IR SENSOR (易燃性氣體)2、磅秤 （液態氣體）3、Vavle Shutter （危險氣體）4、Auto Guard （危險氣體）5、鋼瓶加熱夾克 （低壓氣體）6、盤面管路加熱 （低壓氣體）7、2-Stage Regulator（B2H6）8、Exaust Alarm （所有氣體）9、Z-Purge Alarm （所有氣體）10、以太網遠程通訊 （所有氣體）附屬設施：1、外觀 750(W) X 550(D) X 2,300(H)2、電源 220VAC 3A3、供氣管路 316L EP 1/4 VCR4、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)5、保壓管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN27、排放管路 316 BA 1/2 VCR8、氣動氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI10、排風 6'' 風壓 200Pa