當前位置:
3000D型BSGS是在GC/R的基礎上設計研發的大流量特氣供應系統,以OMRON PLC為控制主體,PROFACE觸摸屏為操作界面,針對不同性質氣體搭配不同的盤面設計,可以對超大流量的危險氣體進行不間斷供應。3000全系列產品均已通過半導體行業的SEMI-S2安全認證以及電子產品之CE認證?;竟δ埽?、可設定的5級密碼權限2、自動吹掃,自動切換3、手動吹掃及操作閥門4、操作及報警歷史紀錄5、供氣和報警參數設置6、設備運行狀態輸出7、緊急切斷開關EMO8、高溫自動噴淋系統9、鋼瓶吹掃閥箱可選功能:1、UV/IR SENSOR (易燃性氣體)2、磅秤 (液態氣體)3、Vavle Shutter (危險氣體)4、Auto Guard (危險氣體)5、鋼瓶加熱夾克 (低壓氣體)6、盤面管路加熱 (低壓氣體)7、二級調壓 (高壓氣體)8、Exaust Alarm (所有氣體)9、Z-Purge Alarm (所有氣體)10、以太網遠程通訊 (所有氣體)11、HEATING BLOCK (高壓氣體)附屬設施:1、外觀 750(W) X 550(D) X 2,300(H)2、電源 220VAC 3A3、供氣管路 316L EP 1/4 VCR4、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)5、保壓管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN27、排放管路 316 BA 1/2 VCR8、氣動氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI10、排風 6'' 風壓 200Pa
材料與組件