V2000型VMB/P,即氣體分流閥箱/盤,適用于制程氣體的分配和壓力調節基本功能:1、進出口壓力顯示2、各支路壓力調節3、主管路擴充閥門4、各支路高壓隔離閥5、各支路低壓隔離閥6、測試口7、氮氣吹掃可選功能:1、進出口PT顯示2、各支路過濾器3、各支路逆止閥4、主管路氣動閥(僅VMB)5、各支路氣動閥(僅VMB)6、Exaust Alarm (僅VMB)7、各支路真空排放8、RS485遠程通訊(僅VMB)附屬設施:1、電源 220VAC 2A2、供氣管路 316L EP 1/4 VCR3、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)4、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN25、排放管路 316 BA 1/2 VCR6、氣動氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA(僅VMB)7、排風 4'' 風壓 50Pa

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材料與組件

 
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