V2000型VMB/P，即氣體分流閥箱/盤，適用于制程氣體的分配和壓力調節基本功能：1、進出口壓力顯示2、各支路壓力調節3、主管路擴充閥門4、各支路高壓隔離閥5、各支路低壓隔離閥6、測試口7、氮氣吹掃可選功能：1、進出口PT顯示2、各支路過濾器3、各支路逆止閥4、主管路氣動閥（僅VMB）5、各支路氣動閥（僅VMB）6、Exaust Alarm （僅VMB）7、各支路真空排放8、RS485遠程通訊(僅VMB)附屬設施：1、電源 220VAC 2A2、供氣管路 316L EP 1/4 VCR3、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)4、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN25、排放管路 316 BA 1/2 VCR6、氣動氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA（僅VMB）7、排風 4'' 風壓 50Pa

3000D型BSGS是在GC/R的基礎上設計研發的大流量特氣供應系統，以OMRON PLC為控制主體，PROFACE觸摸屏為操作界面，針對不同性質氣體搭配不同的盤面設計，可以對超大流量的危險氣體進行不間斷供應。3000全系列產品均已通過半導體行業的SEMI-S2安全認證以及電子產品之CE認證?；竟δ埽?、可設定的5級密碼權限2、自動吹掃，自動切換3、手動吹掃及操作閥門4、操作及報警歷史紀錄5、供氣和報警參數設置6、設備運行狀態輸出7、緊急切斷開關EMO8、高溫自動噴淋系統9、鋼瓶吹掃閥箱可選功能：1、UV/IR SENSOR (易燃性氣體)2、磅秤 （液態氣體）3、Vavle Shutter （危險氣體）4、Auto Guard （危險氣體）5、鋼瓶加熱夾克 （低壓氣體）6、盤面管路加熱 （低壓氣體）7、二級調壓 （高壓氣體）8、Exaust Alarm （所有氣體）9、Z-Purge Alarm （所有氣體）10、以太網遠程通訊 （所有氣體）11、HEATING BLOCK (高壓氣體)附屬設施：1、外觀 750(W) X 550(D) X 2,300(H)2、電源 220VAC 3A3、供氣管路 316L EP 1/4 VCR4、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)5、保壓管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN27、排放管路 316 BA 1/2 VCR8、氣動氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI10、排風 6'' 風壓 200Pa

3000B型按鈕式全自動GC/R為本公司近期**研發之經濟型氣瓶柜/架，以 **PLC為控制主體，配合對應的操作按鈕及數顯儀表，針對不同性質氣體搭配不同的盤面設計，在保留了A型大部分功能的基礎上大大降低了成本，節省客戶預算，以滿足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各產業界之不同需求。3000全系列產品均已通過半導體行業的SEMI-S2安全認證以及電子產品之CE認證?；竟δ埽?、自動吹掃，自動切換2、供氣和報警參數設置3、設備運行狀態輸出4、緊急切斷開關EMO5、高溫自動噴淋系統可選功能：1、UV/IR SENSOR (易燃性氣體)2、磅秤 （液態氣體）3、鋼瓶加熱夾克 （低壓氣體）4、盤面管路加熱 （低壓氣體）5、2-Stage Regulator（B2H6）6、Exaust Alarm （所有氣體）7、Z-Purge Alarm （所有氣體）8、RS485遠程通訊 （所有氣體）附屬設施：1、外觀 750(W) X 550(D) X 2,300(H)2、電源 220VAC 3A3、供氣管路 316L EP 1/4 VCR4、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)5、保壓管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN27、排放管路 316 BA 1/2 VCR8、氣動氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI10、排風 6'' 風壓 200Pa

3000Plus型全自動GC/R為本公司21世紀初期**研發之新型氣瓶柜/架，以OMRON PLC為控制主體，PROFACE觸摸屏為操作界面，針對不同性質氣體搭配不同的盤面設計，可以滿足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各產業界之不同需求。3000全系列產品均已通過半導體行業的SEMI-S2安全認證以及電子產品之CE認證。 基本功能：1、可設定的5級密碼權限2、自動吹掃，自動切換3、手動吹掃及操作閥門4、操作及報警歷史紀錄5、供氣和報警參數設置6、設備運行狀態輸出7、緊急切斷開關EMO8、高溫自動噴淋系統可選功能：1、UV/IR SENSOR (易燃性氣體)2、磅秤 （液態氣體）3、Vavle Shutter （危險氣體）4、Auto Guard （危險氣體）5、鋼瓶加熱夾克 （低壓氣體）6、盤面管路加熱 （低壓氣體）7、2-Stage Regulator（B2H6）8、Exaust Alarm （所有氣體）9、Z-Purge Alarm （所有氣體）10、以太網遠程通訊 （所有氣體）附屬設施：1、外觀 750(W) X 550(D) X 2,300(H)2、電源 220VAC 3A3、供氣管路 316L EP 1/4 VCR4、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)5、保壓管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN27、排放管路 316 BA 1/2 VCR8、氣動氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI10、排風 6'' 風壓 200Pa