特氣氣體管路輸送系統

公司向所有電子半導體行業提供優質的工藝管道氣體輸送系統方案，是指半導體、TFT-LCD、LED、太陽能、光纖、制藥、電子、工業、實驗室等行業大宗氣體系統從廠務端的供應設備至生產廠房的管道連接、二次配工程，氣體通過BSGS、氣瓶柜等供應設備和連接管道，將特殊氣體按照工藝要求的參數安全、持續的輸送至生產機臺，并且可以保證不間斷供應和全自動供應，以實現持續生產和客戶利益＊大化。

流程圖圖例：

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HOOKUP工程：

特氣氣體輸送設備（BSGS）

用于半導體與LCD微電子等行業特殊氣體輸送系統，多用于有毒/可燃/腐蝕性和稀有氣體。

高純氣體供應設備系統包括：特氣柜（GasCabinet）、氣瓶柜（BSGS）、氣瓶架(GR)、閥組箱（VMB）、閥門盤（VMP）等產品；

體輸送系統設備

? ? ? ? ?1、高純度大規模氣體輸送系統。

?2、不間斷供氣同時保證系統內氣體純度。

?3、為客戶降低氣體輸送系統的成本。

?4、采用與氣瓶柜相似的技術規格。

?5、磅秤和加熱系統為可選項，可根據客戶要求進行配置。

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? ? 設備—氣瓶柜(GC)及氣瓶架(GR)

? ? ? ? ? 1、安全設計（柜殼）

? ? ? ? ??2、316LVIM/VAR材料

? ? ? ? ??3、根據氣體性質應用材料

? ? ? ? ??4、100%內表面拋光

? ? ? ? ??5、無顆粒

? ? ? ? ??6、PLC控制與觸摸屏操作

? ? ? ? ??7、簡便的操作和維護

? ? ? ? ??8、全自動循環進程

? ? ? ? ??9、全自動鋼瓶切換進程

? ? ? ? ??10、安全選型與閥門互鎖功能

??設備—氣體分流設備VMB/VMP/VDB/VDP

? 1、增大生產能力

? 2、減少氣瓶柜數量以降低成本

? 3、簡易化設計

? 4、全自動、半自動及手動控制

? 5、1X4、1X6、1X8輸出用點

? 6、吹掃、真空（可選）

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